XP-703D半导体特气检漏仪

描述：XP-703D半导体特气检漏仪特点：

¬ Z适合于检测半导体特气的微量泄漏。

¬ 采用声光报警。

规格：

型号

XP-703D

检测对象气体

半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）

检测原理

型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度

（单位：ppm）

砷烷磷烷乙

产品型号：
厂商性质：生产厂家
更新时间：2024-03-04
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

XP-703D半导体特气检漏仪 特点：

¬ 于检测半导体特气的微量泄漏。

¬ 采用声光报警。

XP-703D半导体特气检漏仪 规格：

型号	XP-703D
检测对象气体	半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）
检测原理	型半导体式
采样方式	自动吸引式
可检测浓度（单位：ppm）	砷烷磷烷乙硼烷硅烷氢气 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表示	蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度	10秒以内

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