XPS-7半导体材料气体测试仪

描述：XPS-7半导体材料气体测试仪特长：
只要更换传感器单元就可以检测对象气体
用盒式传感器单元无需进行检测器校正
大幅度削减成本和维护时间

规格：

型号

XPS-7
检测原理

定电位电解式
检测气体对象

臭氧
检测范围

0～10ppm
分辨率

0.01ppm
指示精度

FS±10%以内
报警模式

2段报警方式
报警方式

蜂鸣器（间歇

产品型号：
厂商性质：生产厂家
更新时间：2026-05-18
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

XPS-7半导体材料气体测试仪 特长：
只要更换传感器单元就可以检测对象气体
用盒式传感器单元无需进行检测器校正
大幅度削减成本和维护时间

XPS-7半导体材料气体测试仪规格：

型号	XPS-7
检测原理	定电位电解式
检测气体对象	臭氧
检测范围	0～10ppm
分辨率	0.01ppm
指示精度	FS±10%以内
报警模式	2段报警方式
报警方式	蜂鸣器（间歇音）、报警灯闪烁
应答时间	60秒以内（60%应答）
电源	5号碱性干电池4节或AC 变压器
电池使用时间	连续12小时以上
外型尺寸	W762×H150×D128（除去突起物）
检测方式	泵吸式
使用温度范围	0℃～40℃
重量	约1.3kg
附件	肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸两张
选购件	AC 变压器、传感器通电台、数据收集配套元件

检测气体一览表：

XPS-7对象气体一览表
型号	气体	F.S	型号	气体	F.S	型号	气体	F.S
XPS-7NH	NH3	100ppm	XPS-7GH	GeH4	1ppm	XPS-7HS	H2S	50ppm
XPS-7SH	SiH4	25ppm	XPS-7CL	CL2	5ppm	XPS-7CO	CO	250ppm
XPS-7DC	SiH2CL2	25ppm	XPS-7CF	CLF3	1ppm	XPS-7DS	Si2H6	25ppm
XPS-7AS	AsH3	250ppm	XPS-7HC	HCL	25ppm	XPS-7F2	F2	5ppm
XPS-7PH	PH3	1ppm	XPS-7HF	HF	10ppm	XPS-7OZ	O3	1ppm
XPS-7BH	B2H6	500ppm	XPS-7HB	HBr	10ppm
XPS-7SE	H2Se	250ppm	XPS-7NO	NO	100ppm

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